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In-Situ Monitoring
솔루션 공급의 대표주자
첨단 산업의 In-Situ 측정 기술로 제조 공정의 품질과 효율을 혁신합니다.
OLED Display
인라인 측정 솔루션
2차전지 생산공정의
박막두께 모니터링
페로브스카이트 양산 공정
In-Situ 모니터링
솔라셀 생산라인 코팅 두께,
굴절율 모니터링
필름 프라이머층 두께
In-Situ 모니터링
핵심 강점
높은 관용성
다양한 제조 환경에서도 정확한 측정을 보장하는 뛰어난 환경 적응성
진동 관용성
생산공정 진동에 대한 높은 관용성
각도 관용성
각도 및 Tilt 변화에 대한 높은 관용성
높이 관용성
생산공정 측정대상의 높이 변동에 대한 높은 관용성
이동 관용성
움직이는 대상물 측정에 대한 높은 관용성
상태 관용성
액상 및 공기층 상태의 두께 측정
기술 차별화
NXT만의 독보적인 측정 기술
In-Situ 측정 분야에서 검증된 원천 기술과 특허로 경쟁사가 따라올 수 없는 측정 성능을 제공합니다.
옹스트롬 부터 마이크로미터
넓은 범위의 두께 측정
단일 시스템으로 옹스트롬(Å) 수준의 초박막부터 수백 마이크로미터의 후막까지 넓은 범위를 커버합니다.
동일 H/W, S/W 측정 시스템
오프라인·인라인 호환성
오프라인 측정기와 인라인 측정기가 동일한 하드웨어 및 소프트웨어 플랫폼을 공유하여 데이터 일관성을 보장합니다.
멀티레이어 측정 기술
3개 Layer 이상 동시 측정
단일 측정으로 3개 이상의 레이어 두께를 동시에 분석하여 복잡한 다층 구조 공정의 효율을 극대화합니다.
극한 환경 신뢰성
고진공(UHV) 챔버내 장착
초고진공(UHV) 챔버 환경에서도 안정적으로 동작하며, 반도체 및 디스플레이 제조 공정의 까다로운 요구사항을 충족합니다.
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