HELIOS LAB-RC

태양전지의 코팅 측정

코팅 및 코팅되지 않은 실리콘 솔라 웨이퍼의 총 반사율, 색상 및 층 두께
결정질 태양 전지의 표면 질감은 높은 태양 전지 효율성을 달성하는데 중요 한 역할을 합니다. 텍스처링은 반사로 인한 손실을 크게 줄이고 셀 패시베이 션에 강한 영향을 미칩니다. 텍스처 공정 단계 뿐만 아니라 실리콘 소재의 품질과 웨이퍼 절단 공정은 텍스처에 영향을 미칩니다. 따라서 텍스처링에 대한 자세한 지식을 얻는 것이 중요하며, 이러한 지식과 공정 제어는 텍스쳐링셀의 전체 반사율의 정밀한 측정을 통해 가능합니다. 당사의 Helios LAB-rc 는 널리 사용되는 화학적 텍스처 공정을 측정, 분석 및 최적화 할 수 있는 가장 적합한 측정 시스템으로 코팅 및 코팅된 솔라 웨이퍼의 색상 및 층 두께를 측정합니다.

총 스펙트럼 반사율의 측정

총 분광 반사율의 측정은 안정된 텍스처 처리를 유지하기 위한 좋은 방법 입니다. 텍스처링은 반사율의 평균 레벨 및 웨이퍼상의 반사율 확산/변화량 에 영항을 미칩니다. 평균 반사율과 웨이퍼상의 반사율 변화는 모두 중요하며 제어가 필요합니다.

Helios LAB-rc의 기능

Helios LAB-rc는 사용하기 쉬운 수동 측정 시스템으로 Polished 및 Textured 솔라 웨이퍼의 총 반사율을 측정할 수 있습니다. 또한 코팅된 웨이퍼의 색상과 층 두께를 측정합니다.

•단일 포인트 측정
•총 분광 반사율 측정
•최저 반사율에서의 파장 및 반사율
•사용자 정의 파장에서의 반사율
•코팅층 두께
•사용자가 정의할 수 있는 Limit에 따른 품질 평가 가능
•결과 Good/Bad 표시
•장비 내 장착된 레퍼런스 샘플로 표준 측정 가능
•선택한 파장 범위 내의 평균 반사율
•색상평가
•수동 단일 축 측정 테이블
•수동 측정 지점 맵핑

Highlights of Helios LAB-rc

무코팅 및 코팅된 웨이퍼 측정
• Offline
• 비접촉 및 비파괴 측정
• 단일점 측정

 

측정 파라미터
• mc-wafers (polished, rough or textured)
• pc-wafers (polished, rough or textured)
• 125 mm X 125 mm / 156 X 156mm

 

다양한 Texture타입 측정 가능
• 등방성(Isotropic) 화학 식각
• 이방성(Anisotropic) 화학 식각
• RIE (Reactive Ion Etched)

 

쉬운 조작
• 장비 내 장착된 레퍼런스로 표준 측정 가능
• 웨이퍼 전체 수동 맵핑이 가능한 테이블
• 간편한 라인 스캔

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Helios LAB-rc

솔라 웨이퍼는 좌우로 이동할 수 있으며 샘플이 놓인 테이블 전체를 앞뒤로 움직일 수 있습니다. 이를 통해 6인치 태양열 웨이퍼의 모든 측정 위치 로 신속하게 수동 이동할 수 있습니다.

서로 다른 태양광 웨이퍼의 총 반사율

HELIOS Inline

코팅공정 직후 태양광 웨이퍼의 SiN코팅 두께 및 굴절률의 인라인 측정
HELIOS Inline 측정 솔루션
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