HELIOS SCAN-TEX

단결정 태양 전지의 Offline 텍스처 제어

웨이퍼 기반 태양 전지의 경우, 텍스처링 공정은 태양 전지 효율성을 극대화 하기 위한 습식 화학 공정의 중요한 단계입니다. 특히 단결정 태양 전지의 경우, 조직화 공정으로 인한 피라미드 구조가 균일하고 잘 정의되어 있어야 합니다. 시간, 온도 및 에칭 농도와 같은 공정 매개 변수는 피라미드 치수 및 밀도에 큰 영향을 미칩니다. 반사율 측정이나 현미경 사진과 같은 표준 시험 절차는 텍스처화된 웨이퍼에 대한 대략적인 아이디어를 제공합니다. 피라미드 구조 뿐만 아니라 웨이퍼의 피라미드 치수에 대한 자세한 지식은 최고 품질의 텍스처링을 최적화하고 보장하는데 필수적입니다.

피라미드 특성 측정

NXT는 단결정 조직의 솔라 웨이퍼에 대한 피라미드 치수 및 분포를 측정할 수 있는 고유한 장비를 제공합니다. 이 시스템은 3가지 다른 오프라인 설정에서 사용할 수 있습니다.

Highlights of Helios SCAN-tex

MC-텍스처 특성 측정
• 측정 지점 내 피라미드 밀도
• 측정 지점 내 피라미드 평균 높이
• 측정 지점 내 높이 분포
• 피라미드 각도

 

생산 및 연구개발에 사용
• 비접촉 및 비파괴 측정
• 정적, 동적 측정
• 빠른 측정 속도 (<0.1 sec/point)

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Helios SCAN-tex

Helios SCAN-tex : 웨이퍼 맵핑을 위한 Highend 측정 시스템 자동 X, Y 맵핑 테이블

Helios LAB-tex : 단일축 이동 수동 샘플 테이블

Helios LITE-tex : 비용 효율적인 오프라인 측정 시스템

HELIOS Inline

코팅공정 직후 태양광 웨이퍼의 SiN코팅 두께 및 굴절률의 인라인 측정
HELIOS Inline 측정 솔루션
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