OFFLINE: METIS LITE, METIS LAB, METIS SCAN
INLINE: INLINE

스펙트럼 Offline 및 Inline 측정 시스템

적분구 사용, Foil/WEB 코팅 및 대형 유리 코팅용
고품질의 제품을 생산하기 위해서는 박막 증착 공정을 제어하고 박막 공정의 Inline 또는 Offline 측정 과정에서 박막의 광학적 특성을 측정하는 것이 매우 중요합니다. 온도, 압력, 표면장력, 속도 및 물질 성질과 같은 공정 변수는 박막의 광학 특성 및 제품 품질에 큰 영향을 미치기 때문에 이를 잘 관리하고 최적화해야 합니다.

Foil/WEB 및 대형 유리 코팅 제어

생산공정에서 빠르게 움직이는 FOIL이 진동할 수도 있고 샘플 표면이 울퉁불퉁할 수도 있습니다. Metis 측정 헤드는 샘플까지 측정 거리 변화 및 기울기에 대한 높은 관용성을 가지고 있습니다. 그러므로 R2R WEB 공정 두께제어 적용을 위한 완벽한 솔루션입니다. 또한, Metis 반사율 및 투과율 측정 헤드는 모든 광학 및 전자 장치를 포함한 소형 측정헤드로 측정 정확도를 잃지 않고 이동식 측정헤드로 구성하여 샘플을 스캔 할 수 있습니다. 이는 대형 유리 코팅 두께 측정을 위한 완벽한 솔루션입니다. 광원을 동시에 제어하는 추가 분광기가 통합되어 있습니다.

측정 파라미터

생산성 및 제품 품질을 향상하기 위하여 아래 항목에 대한 정확한 지식이 필수 불가결합니다.
분광 반사율, 분광 투과율, 분광 흡수율, 균질성, 색상, 단일 박막 및 다층 박막 두께 측정, 광학상수 n&k 측정을 위한 Optical modeling 툴

Highlights of Metis-System

적분 광원을 갖는 적분구 이용
파장 범위:
• 380 ~ 1070 nm
• 360 ~ 970 nm (option)
• 850 ~ 1700 nm (option)

 

높은 광도 측정 정확도
• Spectra < 0.4 % (400 nm ~ 1000 nm)
• 내부 보정 채널을 통한 장기적인 안정성
• 정밀한 색상 측정

 

샘플까지 거리 변화 및 샘플 기울기에 대한 관용성
• ±5 mm 거리 편차
• ±2˚ 기울기 편차

 

모듈화로 생산라인에 쉽게 적용 가능
• LITE (고정 샘플 테이블)
• LAB (수동식 샘플 테이블)
• SCAN (측정 지점 자동 맵핑, 전동 샘플 테이블)
• INLINE (측정헤드 고정 또는 측정헤드 이동 가능)

 

빠른 측정 속도
• < 0.1 sec/point

 

넓은 범위의 두께 측정
• 5 nm – 20 ㎛
• 단일막 및 다층막 측정
• 광학상수 n&k 의 측정

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Metis System

XELAS

태양 전지 박막의 Inline / Offline 제어
offline
Inline

TCM

반사율 및 두께의 Inline / Offline 모니터링
offline
inline

ARC

안과용 반사방지 및 하드코팅 측정
offline
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