Offline 연구개발 & Inline 실시간 측정시스템

공정 연구 개발, 샘플측정 뿐만 아니라 제품 생산 중에 전폭의 두께를 실시간 측정하여 제어함으로써 품질향상 및공정최적화, 측정데이터 보존을 통한 제품관리 및 원료·원가절감에 도움을 줍니다.

사용자 관점의 UI 제공

완전한 구성 요소를 갖춘 NXT의 시스템은 정확한
측정값을 도출합니다.

직관적인 웹 인터페이스를 이용하여 손쉽게 구동할 수 있습니다.
측정 대상체의 다양한 조건에 가장 적합하게 시스템을 세팅하며,
동적 대상체 또는 액체 대상체의 상태에서도 정확한 측정 결과를 도출합니다.
30년 이상의 경험과 기술력을 갖춘 엔지니어가 가장 까다로운 조건에서도
최적의 데이터를 제공합니다.

현장 조건에 맞춘 시스템 구성

Offline에 측정가능한 대상체를 Inline 생산에서
동시 관리하세요.

  • 생산시간 단축: 현장에서 즉시 측정이 가능하므로 측정을 위한 샘플링을 필요로 하지 않습니다.
  • 품질관리: 품질 기준을 충족하지 못하는 박막을 즉각 분류함으로 자재 손실을 막을 수 있습니다.
  • 공간효율성: 컴펙트한 크기의 광원과 측정헤드만을 이용하고 멀티 헤드 설치도 가능합니다.
  • 자동 제어: PLC, DB 설치 등을 통한 측정 데이터 전송이 가능하여 통계적 품질관리가 가능합니다.

빠르고 정밀한 측정

신속한 기술지원 및 사후 관리

적용분야별 최적화된 HW/SW

손쉬운 제어 알고리즘

다양한 설치경험 및 노하우 반영

오프라인/인라인 동시 관리

측정 방식별 Inline 실시간 기능 비교

NXT시스템은 반사, 투과를 동시에 고려한 측정으로 광학상수산출, 단층막의 광학상수 측정, 다층막의 각 Layer  두께 동시 측정,
시편의 높낮이와 기울기 편차에 대한 관용성 등에 강점이 있습니다.

Features NXT R&T System Ellipsometer Reflectometer
n&k measurement
1Layer thickness meas.
Multi-layer thickness meas.
Distance and Tilt Tolerance
Easy to operate
Easy inline integration
Surface roughness
No Reference sample needed
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