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나노급 박막 샘플 측정

나노미터급의 박막 및 다층막 두께를 보다 정확하게 측정하기 위해서 Optical Modeling 방식을 지원합니다.

반사·투과 측정

Layer 물질 각각의 R(반사율), T(투과율)을 측정합니다. 다층막일 경우 기재와 기재+코팅A, 기재+코팅B 샘플을 각 2개씩 준비해주세요.

Optical Modeling

NXT의 고유한 Optical modeling Tool을 이용하여 Layer 물질 각각에 대한 n(굴절률), k(소광계수)를 산출합니다.

두께 측정

실제 다층막 Layer에 대한 RT를 측정하고 각 Layer의 n, k 값을 불러들여서 최종 다층막의 박막 두께를 동시에 계산합니다.

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