TCM MICROSCOPE

TCM μScope:

다양한 현미경 측정 헤드를 통한 분광측정, 색 측정, 층 두께 측정

미세구조화된 지점 측정을 필요로 하는 다양한 분야가 있습니다. 예를 들어, 평판 디스플레이(TFT-LCD, 플라즈마 디스플레이, OLED 디스플레이)의 단일 픽셀 내에서의 측정 또는 반도체 산업에서 미세 구조화된 웨이퍼에서 측정은 측정 지점의 매우 작은 스팟 크기를 필요로 합니다.

 

기타 분야에서, 측면 거리가 수 마이크론인 경우에도 기판상의 코팅이 불균일할 수 있습니다.

 

이러한 경우 현미경 측정 헤드로 반사율 및 투과율을 측정해야 하며 스펙트럼, 색, 층 두께 및 광학상수 n&k의 현미경 측정을 가능하게 하기 위해 현미경 헤드와 스펙트로미터 시스템 및 광원을 결합해야 합니다.

 

위와 같은 구조로 125μm, 50μm, 25μm, 12.5μm 및 5μm의 측정 지점 크기로 측정이 가능합니다.

Highlights of TCM μScop

현미경 스팟 사이즈 측정
• 반사율, 투과율
• 반사색, 투과색
• 단층막 및 다층막의 두께

 

CCD 카메라 결합

 

현미경 Objectives
• 장초점 거리
• 넓은 스펙트럼 범위 380 nm ~ 1070 nm에 대한 크로매틱 보정
• 무한 초점 보정
• 2x, 5x, 10x, 20x, 50x 확대
• 수동 또는 전동 Turret 사용 가능
• 5μm ~ 125μm 측정 지점의 크기

 

광섬유 커플링에 의한 모듈화
• 현미경에 광섬유 케이블로 스펙트로미터와 광원이 연결됩니다. 다양 한 길이와 코어 직경의 광섬유로 구성 가능합니다.

 

수동 xyz 샘플 테이블
• 샘플 테이블의 크기, 이동범위 고객사 사양에 맞게 변경 가능

 

• 전동 xyz 샘플 테이블
• 자동 초점 모듈
• 자동 패턴 매칭 기능

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TCM OFFLINE / INLINE

METIS

R2R 생산에서 박막 두께 측정 / Offline 측정용
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XELAS

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안과용 반사방지 및 하드코팅 측정
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