XELAS INLINE-TFS

Inline 및 Offline 검사 장비

박막 태양 전지 및 스택용
태양광 응용 분야의 박막 코팅은 두께가 수 nm에서 수 μm인 비정질 또는 다결정 실리콘 (a-Si/μc-Si), 텔루르화카드뮴, CIS/CIGS 및 TCO 레이어와 같은 다양한 소재로 만들어집니다. PECVD 또는 스퍼터링(sputtering)과 같은 다양한 공정이 현재 이러한 유형의 태양 전지 생산에 적용되고 있습니다.

 

NXT는 인라인과 오프라인을 모두 검사할 수 있는 제품 그룹을 개발했습니다. 현재 다양한 유형의 TFS 스택에 사용되는 다양한 유형의 Layer와 미래 태양전지 어플리케이션을 위한 유기 Layer를 포함한 무기물을 측정할 수 있습니다.

 

박막측정에서 15년 경험을 바탕으로 한 NXT의 특수광학부품은 정밀하고 신뢰성 있어 Layer 두께 및 n&k 산출에 필요한 분광 반사율, 투과율을 빠르고 정확하게 측정합니다.

측정 원리

박막의 전면 및 후면 반사의 위상차는 간섭을 일으키고 각 층 내부의 흡수는 파장의 진폭을 변화시킵니다. 이 현상은 박막의 층 두께와 굴절률(n) 및 소광계수(k)를 측정하기 위해 사용됩니다. 분광반사율, 투과율의 스펙트럼을 기록한 후, 모델 및 측정이 완벽하게 일치할 때까지 광학 특성 n 및 k에 대한 층 두께 및 파라미터가 변화되는 수학적 계산이 수행됩니다.

R(λ) = f (n(λ), k(λ), t) R=Reflectivity, n=굴절률, k=소광계수, t=두께

Highlights of Xelas INLINE-tfs

다양한 유형의 셀 측정
• 다양한 유형의 TCO Layer
• a-Si/μc-Si layer와 스택
• CIS/CIGS 스택
• CdTe 기반 시스템
• 유기 태양 전지

실제 공정에 적용하여 측정
• 생산 라인 실시간 측정에서 시료까지 거리 편차와 높이에 대한 측정 안정성을 위한 R, T 헤드 디자인
• 자동 내부 보정
• 비접촉 및 비파괴
• 빠른 측정 속도

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XELAS INLINE-TFS

a-Si 태양전지 TCL layer의 RT스펙트럼
(Red = 모델 시뮬레이션, Blue = 청색)

Layer 스택의 스펙트럼 평가 원리

박막 태양 전지의 인라인 제어

최근 몇 년 동안 품질 및 제조 비용 측면에서 태양 전지 관련 제품들의 경쟁력이 높아졌습니다. 웨이퍼 기반 태양전지는 빠르고 안정적인 생산 설비와 원재료 비용의 하락으로 세계 시장에서 여전히 큰 비중을 차지하고 있습니다.

 

박막 태양 전지의 효율과 생산 수율을 높일 수 있는 다양한 방법들이 있을것 입니다. 효율과 생산수율을 높이기 위해서는 매일 24시간 모든 구성 요소들을 점검하기 위한 검사 장비를 지원해야 합니다. 층 두께 및 재료 특성과 같은 물리적 매개 변수의 제어는 우수한 전지 성능을 위한 기본 요소입니다.

 

생산공정에서 빠른 속도로 정확한 반사율, 투과율을 측정하여 두께 결과를 산출하려면 검사 장치의 특수 광학 설계가 필수적입니다.

TFS inline 측정 솔루션

NXT는 표면 거칠기를 고려하여 TFS층 또는 스택의 굴절률 및 소광계수 뿐만 아니라 층 두께를 측정하는 고유한 장비를 제공합니다. 시스템의 광학 RT 헤드 는 생산 조건에서 정밀하고 안정적인 Inline 측정을 위해 설계되고 최적화되었습 니다.

시료 높이 편차에 대한 측정 안정성

인라인 두께와 n&k 관리를 위한 3채널 RT구성

R, T 인라인 측정 헤드

METIS

R2R 생산에서 박막 두께 측정 / Offline 측정용
OFFLINE/INLINE
offline

XELAS

태양 전지 박막의 Inline / Offline 제어
Offline
offline

TCM

반사율 및 두께의 Inline / Offline 모니터링
Offline
inline

ARC

안과용 반사방지 및 하드코팅 측정
offline
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