XELAS LAB/SCAN-TFS

박막 태양전지 및 스택용 Inline 및 Offline 측정 시스템

속도와 샘플링을 통한 공정 지식 획득
현재 다양한 종류의 박막 태양전지 모듈(Thin Film Solar TFS)이 생산되고 있습니다. 대다수는 실리콘 기반(a-Si/μc-Si layers)이며, 다음으로 CIS/CIGS solar stacks, CdTe 시스템이고 마지막으로는 유기막을 기반으로하는 셀이 있습니다. 모든 종류의 TFS 모듈은 최소한 하나의 TCO layer, n-ZnO:Al 또는 ITO 막과 금속막 Ag, Al, Cu을 필요로 합니다. 그러므로, PECVD 또는 Sputerring과 같은 여러 공정으로 매우 다른 소재정보(n&k)를 가진 다양한 물질들로 코팅되고 있습니다.

 

NXT는 인라인과 오프라인을 모두 검사할 수 있는 제품 그룹을 개발했습 니다. 현재 다양한 유형의 TFS 스택에 사용되는 다양한 유형의 Layer와 미래 태양전지 어플리케이션을 위한 유기 Layer를 포함한 무기물을 측정 할 수 있습니다.

 

박막측정에서 15년 경험을 바탕으로 한 NXT의 특수광학부품은 정밀하고 신뢰성 있어 Layer 두께 및 n&k 산출에 필요한 분광 반사율, 투과율을 빠르고 정확하게 측정합니다.

측정 원리

박막의 전면 및 후면 반사의 위상차는 간섭을 일으키고 각 층 내부의 흡수는 파장의 진폭을 변화시킵니다. 이 현상은 박막의 층 두께와 굴절률(n) 및 소광계수(k)를 측정하기 위해 사용됩니다. 분광반사율, 투과율의 스펙트럼을 기록한 후, 모델 및 측정이 완벽하게 일치할 때까지 광학 특성 n 및 k에 대한 층 두께 및 파라미터가 변화되는 수학적 계산이 수행됩니다.

R(λ) = f (n(λ), k(λ), t) R=Reflectivity, n=굴절률, k=소광계수, t=두께

Highlights of Xelas LAB-tfs

다양한 TFS Layer 측정
• 2 nm ~ 500 nm 막 두께
• 분광학적 재료 특성 n(λ)/k(λ)
• 표면 거칠기
• ITO에 대한 굴절률 프로파일링

 

생산관리 및 R&D에 적용 가능
• 표준 시료 및 개발 시료
• 단일 포인트 측정 및 연속 측정 가능
• 비용 효율적인 측정 시스템
• 자동 내부 교정
• 비접촉 및 비파괴
• SCAN : x-y-맵핑, 단방향 스캔 및 단일 포인트 측정

 

다양한 종류의 단일막 및 다층막 적용
• 반도체, TCO, 유기막, 유전체막

 

옵티컬 모델링으로 업그레이드
• 독창적인 NXT의 oscillatory model : n&k 에 대한 파라미터 세트

PDF-Download
XELAS LAB/SCAN-TFS

a-Si 태양전지 TCL layer의 R T스펙트럼
(Red = 모델 시뮬레이션, Blue = 청색)

Layer 스택의 스펙트럼 평가 원리

TFS 샘플 측정

Layer 및 스택의 두께와 n&k
TFS(Thin Film Solar) 모듈의 경우 현재 여러 가지 유형이 생산되고 있습니다. 가장 흥미로운 유형은 실리콘 기반(a-Si, μc-Si 층), CIS/CIGS 태양 전지 스택, CdTe 시스템 및 유기층입니다. 모든 유형의 TFS 모듈에는 n-ZnO : Al 또는 ITO와 같은 적어도 하나의 TCO 층과 Ag, Al, Cu 및 기타의 금속층이 필요합니다. 다층막 내의 박막 두께는 수 nm 에서 수 ㎛ 범위입니다.

 

따라서, 매우 다른 광학적 특성을 갖는 다양한 종류의 물질들이 현재 PECVD 또는 스퍼터링과 같은 여러 공정에 의해 코팅되어 테스트됩니다. PV의 시장 점유율을 차지할 Layer 또는 스택 유형은 비용, 효율성 및 안정성과 같은 요소에 따라 달라집니다. 이 사항에 따라 두께와 재료 데이터 n&k에 대해 검사해야 하는 Layer를 결정하게 됩니다. 따라서 모든 오프라인 테스터는 유연하고 강력해야 하지만 사용하기 쉽고 새로운 기능으로 업그레이드 할 수 있어야 합니다.

TFS Offline 측정 솔루션

NXT는 표면 구조를 고려한 층 두께와 다양한 종류의 층 또는 스택의 n&k를 측정하는 고유한 장비를 제공합니다. 이 시스템은 많은 재료 및 스택에 대한 표준 설정을 갖추고 있으며 오늘날 알려지지 않은 재료 측정으로 확대될 수 있습니다.

Xelas SCAN/LAB-tfs로 측정한 비정질 Si층 두께와
분광 굴절률+소광계수 n (λ) + k (λ)의 측정

Xelas SCAN/LAB-tfs로 측정한 비정질 Si층 두께와
분광 굴절률+소광계수 n (λ) + k (λ)의 측정

박막 태양 전지 샘플의 Offline 측정

METIS

R2R 생산에서 박막 두께 측정 / Offline 측정용
OFFLINE/INLINE
offline

XELAS

태양 전지 박막의 Inline / Offline 제어
Inline
offline

TCM

반사율 및 두께의 Inline / Offline 모니터링
Offline
inline

ARC

안과용 반사방지 및 하드코팅 측정
offline
Check It Out
error: Content is protected !!