XELAS INLINE-OLED

OLED의 Inline 측정 –
신속하고 안전한 두께 검사

XELAS INLINE OLED 시스템은 대량 생산 공정의 전수 검사에 적합한 측정 장비입니다. 유기발광다이오드 고효율 생산은 다양한 물질들로 구성된 Layer들의 정확한 두께 관리를 필요로 합니다.

OLED 생산의 경우 다른 어플리케이션 보다 더욱 Layer를 정확하게 제어해야 합니다. 실시간 측정을 가능하기 위해서는 측정 대상의 기울기나 측정 대상까지 거리 편차에 대하여 관용성이 큰 측정 장비가 필요합니다.

빠른 속도로 두께 평가가 진행되기 위해서는 정확한 반사율, 투과율 스펙트럼을 측정해야 하며 특수 광학 설계가 필요합니다.

Normal, + 1 mm, + 2.5 mm, +3.5 mm 높이 변화에 따른 측정 결과 그래프

높이 편차에 따른 측정 안정성 보장

OLED Inline 측정

NXT는 표면 거칠기를 고려한 다양한 종류의 Layer 또는 Stack의 Layer 두께 측정 시스템을 제공합니다. 시스템의 광학 R, T 헤드는 생산조건에서 측정 결과를 보장하기 위해 고정밀, 안정적인 Inline 측정을 위해 설계되고 최적화 되어 있습니다.

Xelas LAB-oled의 주요 특징
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OLED Layer 측정
• 3 nm ~ 500 nm 막 두께
• 분광학적 재료 특성 : n(λ), k(λ)
• 표면 거칠기
• ITO에 대한 굴절률 프로파일링

 

실제 공정 환경에서 측정
• 생산 라인 실시간 측정에서 시료까지 거리 편차와 높이에 대한 측정 안정성을 위한 R, T 헤드 디자인
• 자동 내부 교정
• 비접촉 및 비파괴

 

편리한 생산관리
• 자동 트리거링 또는 라인을 통한 I/O
• 생산 공정을 방해하지 않고 실시간 두께 모니터링
• 빠른 측정 속도

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Xelas INLINE-oled

인라인 반사율/투과율 분광센서 R+T
인라인 두께와 n&k 측정을 위한 3채널 RT 구성

Flange가 있는 R 및 T 인라인 측정용 헤드

XELAS-OLED Offline

OLED Layer의 두께와 n&K
XELAS-OLED Offline 측정 솔루션
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